Poté, co světlo vstoupí do děliče paprsků, lze běžné světlo rozdělit do následujících tří typů podle vlnové délky:
Blízko UV (blízko UV): 200-380nm
Vakuové UV< vuv=""> -200 10-200 nm
Extrémní ultrafialové záření, extrémní ultrafialové záření (ExtremeUV 〈EUV〉): 1–10 nm
